GB/T 11073-2007
硅片径向电阻率变化的测量方法
Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
GBT11073-2007, GB11073-2007
- 标准号
- GB/T 11073-2007
- 别名
- GBT11073-2007, GB11073-2007
- 发布
- 2007年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 11073-2007
- 引用标准
- GB/T 12965 GB/T 1552 GB/T 2828 GB/T 6618-1995
- 被代替标准
- GB/T 11073-1989
- 适用范围
- 本标准规定了用直排四探针法测量硅单晶片径向电阻率变化的方法。 本标准适用于厚度小于探针平均间距、直径大于15 mm、电阻率为1X10¯³Ω·cm～3×10³ Ω·cm硅单晶圆片径向电阻率变化的测量。