ISO 17974:2002
表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准

Surface chemical analysis - High-resolution Auger electron spectrometers - Calibration of energy scales for elemental and chemical-state analysis

标准号

ISO 17974:2002

发布

2002年

中文版

GB/T 29731-2013 (修改采用的中文版本)

发布单位

国际标准化组织

当前最新

ISO 17974:2002

 

 

适用范围

本国际标准规定了用于表面元素和化学状态分析的俄歇电子能谱仪动能标度的校准方法。 它还指定了一个校准计划，用于测试一种中间能量下的动能标度线性度，用于确认一个低动能值和一个高动能值下的标度校准的不确定度，用于校正该标度的小漂移以及定义扩展的不确定度动能标度的校准，置信度为 95%（这种不确定性包括实验室间研究中观察到的行为的贡献，但不涵盖所有可能的缺陷）。 它仅适用于那些配有离子枪进行溅射清洁的仪器。 它不适用于动能标度误差与能量呈显着非线性关系的仪器。 它既不适用于在恒定 ΔEIE 模式下相对分辨率低于 0.2 % 或在恒定 ΔE 模式下低于 1.5 eV 的仪器，也不适用于要求容差限值为 ±0.05 eV 或更低的仪器，也不适用于那些要求 ±0.05 eV 或更小的仪器。 那些带有不能在 5 keV 至 10 keV 能量范围内操作的电子枪的电子枪。 它不提供完整的校准检查来确认能量标尺上每个可寻址点测量的能量，这是根据制造商的建议执行的。

推荐

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