ISO 17973:2002
表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
Surface chemical analysis - Medium-resolution Auger electron spectrometers - Calibration of energy scales for elemental analysis
- 标准号
- ISO 17973:2002
- 发布
- 2002年
- 中文版
- GB/T 29732-2013 (修改采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 替代标准
- ISO 17973:2016
- 当前最新
- ISO 17973:2016
- 适用范围
- 本国际标准规定了不确定度为 3 eV 的俄歇电子能谱仪动能标度的校准方法，用于识别表面元素的一般分析用途。 此外，它还规定了建立校准计划的方法。 它适用于直接模式或差分模式下使用的仪器，其中分辨率小于或等于 0.5%，并且差分模式（如果使用）的调制幅度为 2 eV 峰峰值。 它适用于配备惰性气体离子枪或其他样品清洁方法以及能够在4 keV或更高束流能量下工作的电子枪的光谱仪。
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