DIN 50450-9:2003
半导体工艺材料测试.载气和掺杂气体杂质测定.第9部分:用气相色谱法测定气态氯化氢中氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、氢和C1-C3-烃类含量

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C1-C3-hydrocarbons in gaseous hydr


标准号
DIN 50450-9:2003
发布
2003年
发布单位
德国标准化学会
替代标准
DIN 50450-9:2021-07
当前最新
DIN 50450-9:2021-07
 
 
被代替标准
DIN 50450-9:2002

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