GB/T 12964-2003
硅单晶抛光片

Monocrystalline silicon polished wafers


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GB/T 12964-2003



标准号
GB/T 12964-2003
发布日期
2003-06-16
实施日期
2004-01-01
废止日期
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
代替标准
GB/T 12964-2018
被代替标准
GB/T 12964-1996
适用范围
本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。

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