GB/T 12964-2003
硅单晶抛光片
Monocrystalline silicon polished wafers
GBT12964-2003, GB12964-2003
2019-06
- 标准号
- GB/T 12964-2003
- 别名
- GBT12964-2003, GB12964-2003
- 发布
- 2003年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 12964-2018
- 当前最新
- GB/T 12964-2018
- 被代替标准
- GB/T 12964-1996
- 适用范围
- 本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。