ASTM F1394-92(2005)
测定从气体分配系统阀门产生的粒子成分的标准试验方法

Standard Test Method for Determination of Particle Contribution from Gas Distribution System Valves

被代替

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标准号

ASTM F1394-92(2005)

发布

1992年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM F1394-92(2012)

当前最新

ASTM F1394-92(2020)

 

 

适用范围

该测试方法的目的是定义测试安装到高纯度气体分配系统中的组件的程序。应用该测试方法预计将在测试的组件之间产生可比较的数据，以鉴定该安装。背景测试8212；此测试方法使用背景测试来确保系统不会产生高于可接受的低水平的颗粒。这可确保看到的计数来自测试设备，而不是来自受污染的系统。用于获得背景计数的技术不会产生与测试设备就位时存在的条件相同的条件。建议定期运行对照产品，以确保它们给出一致的结果。这些控制产品应该是最低颗粒释放的产品。它们将进一步证明系统在测试的静态、动态或冲击部分不会产生多余的颗粒。该测试方法可用于测试管材的长度。流量标准与阀门所示的流量标准相同。管道测试仅包括静态背景、冲击背景以及方法的静态和冲击部分。可以通过启动上游气动阀 (PV1) 来添加动态部分，从而在管道的测试长度上产生流量波动。
1.1 该测试方法涵盖用于安装到高纯度气体分配系统中的气体分配系统组件。
1.1.2 本测试方法描述了一个程序，旨在对在恶劣条件下测试的阀门的颗粒产生性能进行统计上的显着比较。
1.1.3 本测试方法并非旨在作为特定阀门测试后监测持续颗粒性能的方法。
1.2 本测试方法采用凝核计数器 (CNC)，该计数器适用于半导体应用中通常使用的直列燃气阀。它适用于各种类型（例如隔膜或波纹管）、尺寸为 6.3 至 12.7 毫米（1/4 至 1/2 英寸）的自动和手动阀门。有关此测试方法在较大阀门上的应用，请参阅附录中的表格。
1.2.1 大于 12.7 毫米（1/2 英寸）的阀门可以通过此方法进行测试。测试台的尺寸必须相应确定。应测试大于 12.7 毫米（1/2 英寸）的组件，同时保持雷诺数为 20000 至 21000。这是在 30.5 m 的速度下测试的 12.7 毫米（1/2 英寸）组件的雷诺数/秒（100 英尺/秒）。
1.3 局限性：
1.3.1 本测试方法适用于总粒子数大于凝聚核粒子计数器最低检出限（MDL）的情况，不考虑将数据划分为各种尺寸范围。
1.3.1.1 能否从非动态部件（例如配件和短管）生成重要数据，并与短管生成的数据进行比较（具有统计显着性），这是值得怀疑的。因此，该测试方法无法可靠地支持这些类型的组件之间的比较。
1.3.1.2 如果对激光粒子计数器（LPC）技术尺寸范围内的粒子检测或分类或两者感兴趣，则可以利用 LPC 来测试组件。本测试方法中概述的流速、测试时间、采样装置和数据分析不适用于 LPC。由于这些差异，CNC 的数据与 LPC 的数据不可比较。
1.3.2 本测试方法规定了超出典型值的流动和机械应力条件。这些条件不应超过制造商推荐的条件。正常操作条件下的实际性能可能会有所不同。 ......

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