ASTM E2088-06
清洁室和相关受控环境中粒子沉积物测量用选择、制备、陈列和分析参考表面的标准实施规范
Standard Practice for Selecting, Preparing, Exposing, and Analyzing Witness Surfaces for Measuring Particle Deposition in Cleanrooms and Associated Controlled Environments
- 标准号
- ASTM E2088-06
- 发布
- 2006年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM E2088-06(2011)
- 当前最新
- ASTM E2088-06(2021)
- 适用范围
- 这种做法提供了一种在洁净室和其他受控环境中测量颗粒沉积或沉降物的标准方法。它基于使用见证表面来收集从周围环境中沉积的颗粒，然后通过传统方法对颗粒进行尺寸测量和计数。介绍了几种选项，以及为预期应用选择最佳选择的限制和指南。本实践适用于包括航空航天、微电子和制药在内的众多行业。1.1本实践旨在协助见证表面的选择、准备、暴露和分析，以表征洁净室和相关受控环境中的颗粒沉积速率，特别是对于航空航天应用。
1.2 可以根据颗粒尺寸分布和计数、面积覆盖百分比或产品性能标准（例如光学传输或散射）来定义要求。提供了见证表面的多种选择。本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
1.3 以 SI 单位表示的值应被视为标准。
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