ASTM F50-92(2001)e1
使用能检测单个亚测微计及较大粒子的仪器在控制尘埃区域及无菌区中连续测定空气中悬浮粒子的大小及计数

Standard Practice for Continuous Sizing and Counting of Airborne Particles in Dust-Controlled Areas and Clean Rooms Using Instruments Capable of Detecting Single Sub-Micrometre and Larger Particles


 

 

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标准号
ASTM F50-92(2001)e1
发布
1992年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM F50-07
当前最新
ASTM F50-21
 
 
适用范围
本实践的主要目的是描述一种收集清洁区域中空气颗粒浓度和尺寸分布的近实时数据的程序,如单颗粒计数技术所示。一些政府和行业规范的实施需要使用 SPC 采集颗粒尺寸和浓度数据。在洁净室中制造的许多产品的加工要求涉及的环境清洁度水平非常低,以至于需要能够检测非常小的颗粒的单个颗粒计数器来表征洁净室空气。只有使用 SPC 才能获得尺寸范围从小于 0.1 米到 5 米及更大的空气颗粒浓度的实时信息。大于约 0.05 µm 的颗粒的定义可以通过直接测量单个颗粒的光散射来进行;对于较小的颗粒可能需要其他技术,例如在颗粒测量之前通过冷凝进行初步生长。粒径数据参考用于校准 SPC 的颗粒系统。不同 SPC 之间检测、电子和样品处理系统的差异可能会导致颗粒特征的差异。在尝试比较成分或形状与校准基础材料显着不同的颗粒的数据时必须小心。使用具有不同操作参数的类似颗粒传感系统的仪器之间也可能会出现差异。应通过使用 SPC 校准和操作的标准方法来认识并尽量减少这些影响。在应用这种实践时,基本假设是通过 SPC 的样品中的颗粒代表了正在分析的整个粉尘控制区域中的颗粒。需要注意使用良好的采样程序,并且在样品处理和分析过程中的任何时候都不会产生任何伪影;这些预防措施在 SPC 的验证和操作中都是必要的。
1.1 本实践涵盖了粉尘控制区域和洁净室中空气颗粒浓度(按数量)和尺寸分布的确定(对于尺寸范围内的颗粒)大约0.01至5.0μm。对于所有等于或大于测量的最小尺寸的颗粒,颗粒浓度不超过 3.5 X 106 颗粒/立方米(100 000/立方英尺)。
1.2 这种做法使用机载单颗粒计数装置(SPC),其操作基于测量通过传感区域的单个颗粒产生的信号。信号必须与颗粒尺寸直接或间接相关。注 1-此处未指定 SPC 类型。 SPC 可以是传统的光学粒子计数器 (OPC)、空气动力学粒子测定器、与扩散电池或微分迁移率分析仪结合运行的凝聚核计数器 (CNC),或任何其他能够对粒子中的单个粒子进行计数和大小测定的设备。关注的尺寸范围和洁净室环境中的采样。
1.3 按照本惯例执行测试的人员应接受 SPC 使用培训并了解其操作。
1.4 由于空气中颗粒物的浓度和粒径分布不断变化,采样探头配置、位置和采样时间的选择都会影响采样结果。此外,不同 SPC 之间物理测量、电子和样品处理系统的差异以及被测量的各种颗粒的物理特性的差异可能会导致测试结果的变化。

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