ASTM D5544-94(2004)
高纯度水蒸发后残留物在线测量的标准试验方法

Standard Test Method for On-Line Measurement of Residue After Evaporation of High-Purity Water

被代替

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 ASTM D5544-94(2004) 前三页，或者稍后再访问。

您也可以尝试购买此标准，
点击右侧 “立即购买” 按钮开始采购（由第三方提供）。

标准号

ASTM D5544-94(2004)

发布

1994年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM D5544-05

当前最新

ASTM D5544-16(2023)

 

 

适用范围

1.1 本测试方法涵盖半导体、航空航天和其他行业使用的高纯水中溶解的有机物和无机物以及胶体物质的测定。这种材料称为蒸发残留物 (RAE)。测试方法的范围为0.1 g/L(ppb)至20 mg/L(ppm)。
1.2 本测试方法采用连续、实时监测技术来测量RAE的浓度。高纯水的加压样品通过超净配件和管道连续供应至测试方法的设备。因此，可以防止大气污染物进入样品。有关测试方法的一般信息以及有关 RAE 连续测量的文献综述已发表。
1.3 以 SI 单位表示的值应被视为标准。括号中给出的值仅供参考。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。有关具体危险说明，请参阅第 8 节。

ASTM D5544-94(2004)相似标准