GB/T 1554-2009
硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
GB/T 1554-2009 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 1554-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年06月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 14262-1993 YS/T 209-1994
- 被代替标准
- GB/T 1554-1995
- 适用范围
- 本标准规定了择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。
本标准适用于晶向为<111>、<100>或<110>、电阻率为10
Ω•m～10 Ω•m、位错密度在0cm ～10 cm 之间的硅单晶锭或硅片中原生缺陷的检验。 本方法也适用于硅单晶片。