GB/T 1554-2009
硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques


标准号
GB/T 1554-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
废止日期
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 14262-1993 YS/T 209-1994
被代替标准
GB/T 1554-1995
适用范围
本标准规定了择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。 本标准适用于晶向为<111>、<100>或<110>、电阻率为10Ω•m~10Ω•m、位错密度在0cm~10cm之间的硅单晶锭或硅片中原生缺陷的检验。 本方法也适用于硅单晶片。

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