GB/T 1554-2009
硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
GBT1554-2009, GB1554-2009
- 标准号
- GB/T 1554-2009
- 别名
- GBT1554-2009, GB1554-2009
- 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 1554-2009
- 引用标准
- GB/T 14262-1993 YS/T 209-1994
- 被代替标准
- GB/T 1554-1995
- 适用范围
- 本标准规定了择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。
本标准适用于晶向为<111>、<100>或<110>、电阻率为10
Ω•m～10 Ω•m、位错密度在0cm ～10 cm 之间的硅单晶锭或硅片中原生缺陷的检验。 本方法也适用于硅单晶片。