GB/T 1558-2009
硅中代位碳原子含量.红外吸收测量方法

Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption

GBT1558-2009, GB1558-2009

2024-07

标准号
GB/T 1558-2009
别名
GBT1558-2009, GB1558-2009
发布
2009年
采用标准
SEMI MF 1391-0704 MOD
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 1558-2023
当前最新
GB/T 1558-2023
 
 
引用标准
GB/T 14264-2009 GB/T 6618-2009
被代替标准
GB/T 1558-1997
适用范围
本标准规定了硅中代位碳原子含量的红外吸收测量方法。 本标准适用于电阻率高于3Ω•cm的p型硅片及电阻率高于1Ω•cm的n型硅片中代位碳原子含量的测定,对于精密度要求不高的硅片,可以测量电阻率高于0.1Ω•cm的硅片中代位碳原子含量。由于碳也可能存在间隙位置,因而本方法不能测定总碳含量。 也适用于硅多晶中代位碳原子含量测定,但其晶粒界间区的碳同样不能测定。

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