GB/T 6617-2009
硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

Test method for measuring resistivity of silicon wafer using spreading resistance probe


GB/T 6617-2009 中,可能用到以下仪器设备

 

电子探针

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岛津(上海)实验器材有限公司

 

NDJ系列旋转粘度计

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天美仪拓实验室设备(上海)有限公司

 

机械式粘度计

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上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

数字式粘度计

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上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

旋转粘度计

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上海人和科学仪器有限公司

 

润滑油低温布氏粘度测定仪

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山东盛泰仪器有限公司

 

布氏粘度计

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广州领拓仪器科技有限公司

 

Luminex 200 液相芯片仪

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默克生命科学

 

高速型光学斩波器

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北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

岛津EPMA-8050G场发射电子探针

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岛津企业管理(中国)有限公司/岛津(香港)有限公司

 

岛津EPMA-1720系列电子探针

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岛津企业管理(中国)有限公司/岛津(香港)有限公司

 

岛津SXES软X射线分析谱仪

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岛津企业管理(中国)有限公司/岛津(香港)有限公司

 

日本电子JXA-8230 电子探针显微分析仪

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日本电子株式会社(JEOL)

 

Lovis 2000 M/ME 落球式粘度计

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安东帕(上海)商贸有限公司

 

SVM™ 3001 斯塔宾格粘度仪

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安东帕(上海)商贸有限公司

 

斯塔宾格运动粘度仪-SVM™3001

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安东帕(上海)商贸有限公司

 

RheolabQC奥地利安东帕 旋转粘度计

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安东帕(上海)商贸有限公司

 

奥地利安东帕 落球式粘度计

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安东帕(上海)商贸有限公司

 

FRS1600 超高温粘度计

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安东帕(上海)商贸有限公司

 

安东帕ViscoQC 100旋转粘度计

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安东帕(上海)商贸有限公司

 

HAAKE Viscotester 1 Plus 型和 2 Plus 型旋转粘度计

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HAAKE哈克Viscotester E、D 和 C 型旋转粘度计

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赛默飞世尔科技材料物性表征(Material Characterization)

 

智能化粘度计HAAKE VT iQ

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赛默飞世尔科技材料物性表征(Material Characterization)

 

落球粘度计HAAKE Falling Ball

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赛默飞世尔科技材料物性表征(Material Characterization)

 

HAAKE Viscotester E、D 和 C 型旋转粘度计

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赛默飞世尔科技材料物性表征(Material Characterization)

 

便携式粘度计HAAKE VT1/2 Plus

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赛默飞世尔科技材料物性表征(Material Characterization)

 

哈克VT1 plus便捷式粘度计

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NDJ-5S型数字式粘度计

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上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

马尔文Viscosizer TD旋转粘度计

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英国马尔文仪器有限公司

 

天美SNB-1,SNB-2,SNB-4数字旋转粘度计

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HAAKE Viscotester 3旋转粘度计

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马尔文稀溶液粘度计Viscotek DSV

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英国马尔文仪器有限公司

 

马尔文Bohlin Visco 88粘度计

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天美新型SNB-E型数字式粘度计(便携式)

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天美仪拓实验室设备(上海)有限公司

 

天美SNB-3/SNB-4 旋转式数字粘度计

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天美仪拓实验室设备(上海)有限公司

 

HAAKE Viscotester 550 旋转粘度计

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NDJ-7旋转式粘度计

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天美仪拓实验室设备(上海)有限公司

 

SNB-1粘度计

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上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

天美精科NDJ-1,NDJ-4,NDJ-7,NDJ-79旋转粘度计

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天美仪拓实验室设备(上海)有限公司

 

德国Julabo EXPERT专业型旋转粘度计

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优莱博技术(北京)有限公司

 

ChemTron Pearl 旋转粘度计

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优莱博技术(北京)有限公司

 

ChemTron CV003-001乌氏粘度计

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ChemTron 微量粘度计/粘度管

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优莱博技术(北京)有限公司

 

德国Julabo Diamond系列One型旋转粘度计

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优莱博技术(北京)有限公司

 

德国Julabo VISCO Ball 落球粘度计

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优莱博技术(北京)有限公司

 

德国Julabo 玻璃毛细粘度计

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优莱博技术(北京)有限公司

 

德国Julabo Pearl系列PREMIUM专业型旋转粘度计

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优莱博技术(北京)有限公司

 

德国Julabo Pearl系列ALPHA经济型旋转粘度计

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优莱博技术(北京)有限公司

 

德国Julabo Diamond系列pro型旋转粘度计

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优莱博技术(北京)有限公司

 

GB/T 6617-2009



标准号
GB/T 6617-2009
发布日期
2009年10月30日
实施日期
2010年06月01日
废止日期
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 1550 GB/T 1552 GB/T 1555 GB/T 14847
被代替标准
GB/T 6617-1995
适用范围
本标准规定了硅片电阻率的扩展电阻探针测量方法。 本标准适用于测量晶体晶向与导电类型已知的硅片的电阻率和测量衬底同型或反型的硅片外延层 的电阻率,测量范围:10-3Ω·cm~102 Ω·cm。

GB/T 6617-2009系列标准


GB/T 6617-2009 中可能用到的仪器设备


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