GB/T 6618-2009
硅片厚度和总厚度变化测试方法
Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices
说明：
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- 标准号
- GB/T 6618-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年06月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- 国家质检总局
- 引用标准
- GB/T 12964 GB/T 12965 GB/T 14139 GB/T 2828.1
- 被代替标准
- GB/T 6618-1995
- 适用范围
- 本标准规定了硅单晶切割片、研磨片、抛光片和外延片(简称硅片)厚度和总厚度变化的分立式和扫描式测量方法。 本标准适用于符合GB／T 12964、GB／T 12965、GB／T 14139规定的尺寸的硅片的厚度和总厚度变化的测量。在测试仪器允许的情况下，本标准也可用于其他规格硅片的厚度和总厚度变化的测量。
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