GB/T 6618-2009
硅片厚度和总厚度变化测试方法

Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices


标准号
GB/T 6618-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
废止日期
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 2828.1 GB/T 12964 GB/T 12965 GB/T 14139
被代替标准
GB/T 6618-1995
适用范围
本标准规定了硅单晶切割片、研磨片、抛光片和外延片(简称硅片)厚度和总厚度变化的分立式和扫描式测量方法。 本标准适用于符合GB/T 12964、GB/T 12965、GB/T 14139规定的尺寸的硅片的厚度和总厚度变化的测量。在测试仪器允许的情况下,本标准也可用于其他规格硅片的厚度和总厚度变化的测量。

GB/T 6618-2009 中可能用到的仪器设备


谁引用了GB/T 6618-2009 更多引用





Copyright ©2007-2016 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号