GB/T 6621-2009
硅片表面平整度测试方法
Testing methods for surface flatness of silicon slices
GBT6621-2009, GB6621-2009
- 标准号
- GB/T 6621-2009
- 别名
- GBT6621-2009
GB6621-2009 - 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 6621-2009
- 被代替标准
- GB/T 6621-1995
- 本标准规定了用电容位移传感器测定硅抛光片平整度的方法,切割片、研磨片、腐蚀片也可参照此方法。 本标准适用于测量标准直径76mm,100mm,125mm,150mm,200mm,电阻率不大于200Ω•cm厚度不大于1000μm的硅抛光片的表面平整度和直观描述硅片表面的轮廓形貌。