GB/T 6624-2009
硅抛光片表面质量目测检验方法

Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection

GBT6624-2009, GB6624-2009


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GB/T 6624-2009

标准号
GB/T 6624-2009
别名
GBT6624-2009
GB6624-2009
发布
2009年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 6624-2009
 
 
引用标准
GB/T 14264
被代替标准
GB/T 6624-1995
本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验单晶抛光片表面质量的方法。 本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。

GB/T 6624-2009相似标准


GB/T 6624-2009 中可能用到的仪器设备


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