GB/T 6624-2009
硅抛光片表面质量目测检验方法
Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
- 标准号
- GB/T 6624-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年06月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 14264
- 被代替标准
- GB/T 6624-1995
- 适用范围
- 本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验单晶抛光片表面质量的方法。 本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。