GB/T 24577-2009
热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

Test methods for analyzing organic contaminants on silicon water surfaces by thermal desorption gas chromatography

GBT24577-2009, GB24577-2009


标准号
GB/T 24577-2009
别名
GBT24577-2009, GB24577-2009
发布
2009年
采用标准
SEMI MF 1982-1103 MOD
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 24577-2009
 
 
引用标准
ASTM D6196
适用范围
1.1本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。 1.2本标准描述了热解吸气相色谱仪(TD-GC)以及有关样品制备和分析的相关程序。 1.3本标准的检测限范围取决于被检测的有机化合物,比如碳氢化合物(C~C)的检测范围就是 10 g/cm~10g/cm。 1.4本标准适用于硅抛光片和有氧化层的硅片。 1.5本标准中包含了两种方法。方法A适用于切割后的硅片,方法B则适用于完整的硅片。两种方法的不同点在第7部分中有详细描述。

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