GB/T 13387-2009
硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法

Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials

GBT13387-2009, GB13387-2009


GB/T 13387-2009 中,可能用到以下仪器设备

 

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GB/T 13387-2009

标准号
GB/T 13387-2009
别名
GBT13387-2009
GB13387-2009
发布
2009年
采用标准
SEMI MF 671-0705 MOD
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 13387-2009
 
 
引用标准
GB/T 14264-2009 GB/T 2828.1-2003
被代替标准
GB/T 13387-1992
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