GB/T 13387-2009
硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法

Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials


标准号
GB/T 13387-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
废止日期
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 2828.1-2003 GB/T 14264-2009
被代替标准
GB/T 13387-1992
适用范围
本标准涵盖了对晶片边缘平直部分长度的确认方法。 本标准适用于标称圆形晶片边缘平直部分长度小于等于65mm的电学材料。本标准仅对硅片精度进行确认,预期精度不因材料而改变。 本标准适用于仲裁测量,当规定的限度要求高于用尺子和肉眼检测能够获得的精度时,本标准也可用于常规验收测量。 本标准不涉及安全问题,即使有也与标准的使用相联系。建立合适的安全和保障措施及确定规章制度的应用范围是标准使用者的责任。

GB/T 13387-2009 中可能用到的仪器设备


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