GB/T 13388-2009
硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
GBT13388-2009, GB13388-2009
说明：
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- 标准号
- GB/T 13388-2009
- 别名
- GBT13388-2009
GB13388-2009 - 发布
- 2009年
- 采用标准
- SEMI MF 847-0705 MOD
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 13388-2009
- 引用标准
- ASTM E82 DIN 50433.3 GB/T 12964 GB/T 12965 GB/T 14264 GB/T 1555 GB/T 2828.1
- 被代替标准
- GB/T 13388-1992
- 本标准规定了a角的测量方法，a角为垂直于圆型硅片基准参考平面的晶向与硅片表面参考面间角。 本标准适用于硅片的参考面长度范围应符合GB／T 12964和GB／T 12965中的规定，且硅片角度偏离应在-5º到+5º范围之内。 由本标准测定的晶向精度直接依赖于参考表面与基准挡板的匹配精度和挡板与相对于的x射线的取向精度。 本标准包含如下两种测试方法： ...
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