GB/T 14139-2009
硅外延片
Silicon epitaxial wafers
说明：
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- 标准号
- GB/T 14139-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年06月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 2828.1-2003 GB/T 6617-2009 GB/T 6624-2009 GB/T 12962-2005 GB/T 12964-2003 GB/T 13389-1992 GB/T 14141-2009 GB/T 14142-1993 GB/T 14145-1993 GB/T 14246.1-1993 GB/T 14847-1993 YS/T 24-1992
- 被代替标准
- GB/T 14139-1993
- 适用范围
- 本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。
本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的n型外延层(N/N
)和在p型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P )的同质硅外延层，产品主要用于制作硅半层体器件。其他类型的硅外延片可参照使用。