GB/T 14139-2009
硅外延片

Silicon epitaxial wafers


标准号
GB/T 14139-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
废止日期
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 2828.1-2003 GB/T 6617-2009 GB/T 6624-2009 GB/T 12962-2005 GB/T 12964-2003 GB/T 13389-1992 GB/T 14141-2009 GB/T 14142-1993 GB/T 14145-1993 GB/T 14246.1-1993 GB/T 14847-1993 YS/T 24-1992
被代替标准
GB/T 14139-1993
适用范围
本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的n型外延层(N/N)和在p型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P)的同质硅外延层,产品主要用于制作硅半层体器件。其他类型的硅外延片可参照使用。

GB/T 14139-2009 中可能用到的仪器设备


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