GB/T 14140-2009
硅片直径测量方法
Test method for measuring diameter of semiconductor wafer
GBT14140-2009, GB14140-2009
- 标准号
- GB/T 14140-2009
- 别名
- GBT14140-2009
GB14140-2009 - 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 14140-2009
- 引用标准
- GB/T 12964-2003 GB/T 2828.1-2003 GB/T 6093-2001
- 被代替标准
- GB/T 14140.1-1993 GB/T 14140.2-1993
- 本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。 本标准适用于测量圆形硅片的直径，可测最大直径为 ∮300mm。不适用于测量硅片的不圆度。