GB/T 14140-2009
硅片直径测量方法
Test method for measuring diameter of semiconductor wafer
GB/T 14140-2009 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- GB/T 14140-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年06月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 2828.1-2003 GB/T 6093-2001 GB/T 12964-2003
- 被代替标准
- GB/T 14140.1-1993 GB/T 14140.2-1993
- 适用范围
- 本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。 本标准适用于测量圆形硅片的直径，可测最大直径为 ∮300mm。不适用于测量硅片的不圆度。