GB/T 14146-2009
硅外延层载流子浓度测定.汞探针电容-电压法

Silicon epitaxial layers-determination of carrier concentration-mercury probe voltages-capacitance method

GBT14146-2009, GB14146-2009

2021-12

标准号
GB/T 14146-2009
别名
GBT14146-2009, GB14146-2009
发布
2009年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 14146-2021
当前最新
GB/T 14146-2021
 
 
引用标准
GB/T 14847-1993 GB/T 1550-1997 GB/T 1552-1995
被代替标准
GB/T 14146-1993
适用范围
本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容-电压测量方法。 本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。测量范围为:4×10cm~8×10cm。 本标准测试的硅外延层的厚度必须大于测试偏压下耗尽的深度。 本标准也适用于硅抛光片的载流子浓度测量。

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