GB/T 14264-2009
半导体材料术语
Semiconductor materials-Terms and definitions
GB/T 14264-2009 中，可能用到以下耗材
- 标准号
- GB/T 14264-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年06月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- ASTM F1241 SEMI M59
- 被代替标准
- GB/T 14264-1993
- 适用范围
- 本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。 本标准适用于元素和化合物半导体材料。
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GB/T 14264-2009 中可能用到的仪器设备
红外光谱仪
激光器
近红外光谱仪
X荧光光谱/XRF（能量色散型X荧光光谱仪）
分子荧光光谱/荧光分光光度计
MALDI质谱
荧光显微镜
扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM
透射电镜TEM
X射线衍射仪(XRD)
核磁共振波谱仪
扫描电镜SEM
光纤光谱仪
气质联用仪
工业显微镜/工具显微镜
电化学工作站
拉曼光谱仪
表面张力仪（界面张力仪）
粘度计
导热仪、热导仪
X射线实时成像检测系统
硬度计
纳米压痕仪、划痕仪
电子束刻蚀
镀膜机
化学合成仪
酶标仪
细胞破碎仪
动物代谢等功能检测设备
条码扫描仪
土壤硬度计/土壤紧实度仪
原子层沉积系统（ALD）
原子层沉积系统（ALD）
霍尔效应测试仪
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