GB/T 14264-2009
半导体材料术语

Semiconductor materials-Terms and definitions


标准号
GB/T 14264-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
废止日期
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
引用标准
ASTM F1241 SEMI M59
被代替标准
GB/T 14264-1993
适用范围
本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。 本标准适用于元素和化合物半导体材料。

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