GB/T 14604-2009
电子工业用气体.氧
Gas for electronic industry.Oxygen
GBT14604-2009, GB14604-2009
- 标准号
- GB/T 14604-2009
- 别名
- GBT14604-2009, GB14604-2009
- 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 14604-2009
- 引用标准
- GB 14194-2006 GB 16912-2008 GB 190-2009 GB 5099-1994 GB 7144-1999 GB/T 14600 GB/T 3723-1999 GB/T 3863-2008 GB/T 8984-2008 JB/T 5905-2000 JB/T 6897-2000 JB/T 6898-1997 压力容器安全技术监察规程 压力管道安全管理与监察规定 气瓶安全监察规程
- 被代替标准
- GB/T 14604-1993
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用氧的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧。他们主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。