GB/T 14851-2009
电子工业用气体.磷化氢
Gas for electronic industry.Phosphine
GBT14851-2009, GB14851-2009
- 标准号
- GB/T 14851-2009
- 别名
- GBT14851-2009, GB14851-2009
- 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 14851-2009
- 引用标准
- GB 11640-1989 GB 14193-2009 GB 190-2009 GB 5099-1994 GB 7144-1999 GB/T 3723-1999 GB/T 8984-2008 气瓶安全监察规程
- 被代替标准
- GB/T 14851-1993
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。