GB/T 16944-2009
电子工业用气体.氮
Gas for electronic industry.Nitrogen
GBT16944-2009, GB16944-2009
- 标准号
- GB/T 16944-2009
- 别名
- GBT16944-2009, GB16944-2009
- 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 16944-2009
- 引用标准
- GB 14194-2006 GB 16912-2008 GB 190-2009 GB 5099-1994 GB 7144-1999 GB/T 3723-1999 GB/T 3864-2008 GB/T 8984-2008 JB/T 5905-2000 JB/T 6897-2000 JB/T 6898-1997 压力容器安全技术监察规程 压力管道安全管理与监察规定 气瓶安全监察规程
- 被代替标准
- GB/T 16944-1997
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用气体氮技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压，化学气相淀积等。