AS ISO 14237-2006
表面化学分析．次级离子质谱测量法．使用均一的绝缘材料测定硅中的硼原子浓度

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

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标准号

AS ISO 14237-2006

发布日期

实施日期

废止日期

无

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

AU-SA

适用范围

Adopts ISO 14237:2000 to specify a secondary-ion mass spectrometric method for the determination of boron atomic concentration in single-crystalline silicon, using uniformly doped materials calibrated by a certified reference material implanted with boro

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