GB/T 26065-2010
硅单晶抛光试验片规范

Specification for polished test silicon wafers

GBT26065-2010, GB26065-2010

标准号

GB/T 26065-2010

别名

GBT26065-2010
GB26065-2010

发布

2011年

发布单位

国家质检总局

当前最新

GB/T 26065-2010

 

 

引用标准

ASTM F1526 GB/T 11073 GB/T 12964 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14264 GB/T 1550 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 2828.1 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 6619 GB/T 6620 GB/T 6621 GB/T 6624 SEMI 24 YS/T 26

适用范围

1.本标准规定了半导体器件制备中用作检验和工艺控制的硅单晶试验片的技术要求。 2.本标准涵盖尺寸规格、结晶取向及表面缺陷等特性要求。本标准涉及了50.8mm～300mm所有标准直径的硅抛光试验片技术要求。 3.对于更高要求的硅单晶抛光片规格，如：颗粒测试硅片、光刻分辨率试验用硅片以及金属离子监控片等，参见SEMI24《硅单晶优质抛光片规范》。