GB/T 26069-2010
硅退火片规范
Specification for silicon annealed wafers
GB/T 26069-2010 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 26069-2010
- 发布日期
- 2011年01月10日
- 实施日期
- 2011年10月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 1550 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 2828.1 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 6620 GB/T 6621 GB/T 6624 GB/T 11073 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14144 GB/T 14264 GB/T 19921 GB/T 24578 YS/T 26
- 适用范围
- 本标准规定了半导体器件和集成电路制造用硅退火抛光片的要求、试验方法、检验规则等。 本标准适用于线宽180nm、130nm和90nm工艺退火硅片。
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