GB/T 26069-2010
硅退火片规范

Specification for silicon annealed wafers


GB/T 26069-2010 中,可能用到以下仪器设备

 

超声粒度及Zeta电位分析仪

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安东帕(上海)商贸有限公司

 

多功能超声/电声谱分析仪

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安东帕(上海)商贸有限公司

 

2400 II有机元素分析仪

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珀金埃尔默企业管理(上海)有限公司PerkinElmer

 

multi EA 5000元素分析仪

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德国耶拿分析仪器股份公司

 

multi EA 4000 元素分析仪

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德国耶拿分析仪器股份公司

 

2410系列II氮元素分析仪

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珀金埃尔默企业管理(上海)有限公司PerkinElmer

 

DH603氢测定仪

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美国力可公司

 

ANTEK 9000 总硫和总氮分析仪

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上海仪真分析仪器有限公司

 

碳硫分析仪

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钢研纳克检测技术有限公司

 

钢研纳克PMA 1000 质谱气体分析仪

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钢研纳克检测技术有限公司

 

钢研纳克O-3000定氧仪

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钢研纳克检测技术有限公司

 

钢研纳克ON-3000氧氮分析仪

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钢研纳克检测技术有限公司

 

Heraeus Multifuge X1系列离心机

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赛默飞世尔科技实验室产品部

 

赛默飞Sorvall ST 16系列离心机

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赛默飞世尔科技实验室产品部

 

Sorvall ST 40系列离心机

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赛默飞世尔科技实验室产品部

 

贝克曼库尔特Optima L-XP系列制备型超速离心机

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贝克曼库尔特商贸(中国)有限公司

 

CS150NX高性能台式微量超速离心机

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天美仪拓实验室设备(上海)有限公司

 

Thermo Scientific Sorvall WX系列超速离心机

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 贝克曼 Optima  XPN-100/ XPN-90/ XPN-80超速离心机

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赛默飞Heraeus Pico/Fresco 17/21 冷冻微量台式离心机

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台式微量高速离心机CT15RE

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贝克曼库尔特Microfuge 20系列台式微量离心机

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1200℃ 重型箱式炉

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1500℃ 多功能箱式炉,带一体控制器

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1500℃ 重型箱式炉,带独立控制器

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1700℃ 箱式炉,带独立控制器

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1700℃ 大型箱式炉,带一体控制器管式炉

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1500℃ 重型管式炉,带独立控制器

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1500℃ 通用管式炉,带一体控制器

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1700℃ 高温管式炉,带独立控制器

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个人离心机

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天美仪拓实验室设备(上海)有限公司

 

一体式马弗炉

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北京安合美诚科学仪器有限公司

 

一体式马弗炉

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QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司

 

超高温高速退火炉

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连续退火实验与模拟系统

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高压氧气氛退火炉

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高温电阻炉

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高温实验炉

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高温箱式炉

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实验炉

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数字式可变速光谱离心机

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多用途离心机

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大容量可变速离心机

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个人微型离心机

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高温马弗炉

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程控马弗炉

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紧凑型单点数字控制马弗炉

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管式马弗炉

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北京中科科尔仪器有限公司

 

通用型可编程离心机

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北京中科科尔仪器有限公司

 

GB/T 26069-2010



标准号
GB/T 26069-2010
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
废止日期
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 1550 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 2828.1 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 6620 GB/T 6621 GB/T 6624 GB/T 11073 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14144 GB/T 14264 GB/T 19921 GB/T 24578 YS/T 26
适用范围
本标准规定了半导体器件和集成电路制造用硅退火抛光片的要求、试验方法、检验规则等。 本标准适用于线宽180nm、130nm和90nm工艺退火硅片。

GB/T 26069-2010 中可能用到的仪器设备





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