GB/T 26069-2010
硅退火片规范
Specification for silicon annealed wafers
GBT26069-2010, GB26069-2010
2022-10
说明：
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- 标准号
- GB/T 26069-2010
- 别名
- GBT26069-2010
GB26069-2010 - 发布
- 2011年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 26069-2022
- 当前最新
- GB/T 26069-2022
- 引用标准
- GB/T 11073 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14144 GB/T 14264 GB/T 1550 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 19921 GB/T 24578 GB/T 2828.1 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 6620 GB/T 6621 GB/T 6624 YS/T 26
- 硅退火片规范GB/T26069—2010 本标准规定了半导体器件和集成电路制造用硅退火抛光片的耍求、试验方法、检验规则等”本标准适用于线宽180nm、130nm和90nm工艺退火硅片”