GB/T 26069-2010
硅退火片规范

Specification for silicon annealed wafers


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GB/T 26069-2010



标准号
GB/T 26069-2010
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
废止日期
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 1550 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 2828.1 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 6620 GB/T 6621 GB/T 6624 GB/T 11073 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14144 GB/T 14264 GB/T 19921 GB/T 24578 YS/T 26
适用范围
本标准规定了半导体器件和集成电路制造用硅退火抛光片的要求、试验方法、检验规则等。 本标准适用于线宽180nm、130nm和90nm工艺退火硅片。

GB/T 26069-2010 中可能用到的仪器设备





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