GB/T 26070-2010
化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法

Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method

GBT26070-2010, GB26070-2010


标准号
GB/T 26070-2010
别名
GBT26070-2010, GB26070-2010
发布
2011年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 26070-2010
 
 
适用范围
1.1 本标准规定了亚-V族化合物半导体单晶抛光片亚表面损伤的测试方法。 1.2 本标准适用于GaAs、InP(GaP、GaSb 可参照进行)等化合物半导体单晶抛光片亚表面损伤的测量。 2 定義

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