本设备是按照标准GB/T1553“硅单晶少数载流子寿命测定的高频光电导衰减法”设计制造。高频光电导衰减法在我国半导体集成电路、晶体管、整流器件、核探器行业已运用了三十多年,积累了丰富的使用经验,经过数次十多个单位巡回测试的考验,证明是一种成熟的测试方法,特别适合于硅块、硅棒的少子体寿命测量;也可对硅片进行测量,给出相对寿命值。方法本身对样品表面的要求为研磨面,因此制样特别简便。...
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