GB/T 26112-2010
微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则
Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-mechanical parameters
GBT26112-2010, GB26112-2010
- 标准号
- GB/T 26112-2010
- 别名
- GBT26112-2010, GB26112-2010
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 26112-2010
- 引用标准
- GB/T 26111
- 适用范围
- 本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。
GB/T 26112-2010相似标准
推荐
微流控的技术背景
要了解微流控技术，首先要知道MEMS技术。MEMS，Mirco-Electro-Mechanical System，微机电系统，也叫微电子机械系统、微系统、微机械等，理念源自于将现实生活在广泛运用的大型设备，通过各种微型技术（半导体技术为主）进行微缩化，但功能不变甚至更加优良。主要由传感器、动作控制器（执行器）和微能源三大部分组成。...
一文看懂微流控芯片的工作原理
MEMS技术全称Micro Electromechanical System，MEMS设想是由诺贝尔物理学奖获得者Richard Feynman教授于1959年提出，其基本概念是用半导体技术，将现实生活中的机械系统微型化，形成微型电子机械系统，简称微机电系统。 1962年全球第一款微型压力传感器面世，这一创新产品后来被应用于汽车安全（轮胎压力检测）和医疗（有创血压计），开启了MEMS时代。...
半导体所在微机电射频谐振器件研究方面取得系列进展
在科技部和中国科学院的大力支持下，半导体研究所集成技术工程研究中心相关课题组多年来致力于射频谐振器件以及相关的测试表征系统的研制工作，在谐振器构型、微纳加工工艺、器件测试方法研究和测试系统组建等方面取得了系列科研进展。 微机电系统(MEMS)是指利用微纳加工技术制作的、同时具有机械组元和电子组元的小型化器件或系统。...
宁波材料所3D微打印技术应用取得新进展
三维微机电系统（MEMS）具有体积小、重量轻、能耗低、灵敏度高等特点，在精密机械、生物医疗、国防、航空航天、核工业等领域有广泛的应用。MEMS系统的结构主要包括微型传感器、微型执行器和处理电路三部分，其中关键部件微执行器主要采用物理或化学气相沉积、光刻等技术制作成二维悬臂结构，三维微纳驱动单元需要进一步通过机械提拉作用才能形成准三维结构。...