GB/T 25915.2-2010
洁净室及相关受控环境.第2部分:证明持续符合GB/T 25915.1的检测与监测技术条件

Cleanrooms and associated controlled environments.Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with GB/T 25915.1

GBT25915.2-2010, GB25915.2-2010

2022-03

标准号
GB/T 25915.2-2010
别名
GBT25915.2-2010, GB25915.2-2010
发布
2011年
采用标准
ISO 14644-2:2000 IDT
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 25915.2-2021
当前最新
GB/T 25915.2-2021
 
 
引用标准
GB/T 25915.1-2010 GB/T 25915.3-2010
适用范围
GB/T 25915的本部分规定了对洁净室或洁净区进行定期检测的要求,以证明其持续符合GB/T 25915.1中规定的空气悬浮粒子浓度等级。 这些要求包括GB/T 25915.1说明的洁净室或洁净区的分级检测。此外,还规定了按本部分要求实施的其他检测项目。可按用户要求实施的可选检测项目,本部分也做了说明。 本部分还规定了对洁净室或洁净区(以下简称“设施”)进行监测的要求,以提供其持续符合GB/T 25915.1中规定的空气悬浮粒子浓度等级的证据。

GB/T 25915.2-2010相似标准


GB/T 25915.2-2010系列标准

GB/T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级 GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级 GB/T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求 GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁 GB/T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性 GB/T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分: 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性 GB/T 25915.16-2024 洁净室及相关受控环境 第16部分:提升洁净室和空气净化装置的能效 GB/T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测 GB/T 25915.3-2024 洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法 GB/T 25915.4-2010 洁净室及相关受控环境 第4部分:设计、建造、启动 GB/T 25915.5-2010 洁净室及相关受控环境 第5部分:运行 GB/T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇 GB/T 25915.7-2010 洁净室及相关受控环境 第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境) GB/T 25915.8-2021 洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级 GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级

GB/T 25915.2-2010 中可能用到的仪器设备


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