GB/T 25915.3-2010
洁净室及相关受控环境.第3部分:检测方法

Cleanrooms and associated controlled environments.Part 3: Test methods


标准号
GB/T 25915.3-2010
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-05-01
废止日期
中国标准分类号
C70
国际标准分类号
13.040.35
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 25915.1-2010 GB/T 25915.2-2010 GB/T 25915.4-2010 ISO 7726-1998
适用范围
警告——GB/T 25915的本部分的应用可能涉及有害材料、作业和设备。GB/T 25915的本部分未提及与应用有关的所有安全性问题。使用前,GB/T 25915本部分的用户有责任制定适当的安全和卫生措施,并遵守各种强制性规定。 GB/T 25915的本部分规定了洁净室和洁净区空气悬浮粒子洁净度等级的检测方法,以及洁净室和洁净区性能的检测方法。性能检测针对是空态、静态和动态3种可能的占用状态下的单向流和非单向流型式洁净室和洁净区。本文件推荐了测定性能参数用检测仪器和检测规程。某些检测方法受限于洁净室或洁净区类型,为此,本文件推荐了若干代替方法。为了满足不同用户的要求,对于某些检测项目,本文件推荐了几种不同的方法和仪器。若需方与供方协商同意,也可以使用本部分未介绍的其他替代方法。替代方法未必给出相同的测量结果。 本部分不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺。

GB/T 25915.3-2010 中可能用到的仪器设备


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