GB/T 25915.8-2010
洁净室及相关受控环境 第8部分:空气分子污染分级

Cleanrooms and associated controlled environments.Part 8:Classification of airborne molecular contamination

GBT25915.8-2010, GB25915.8-2010

2022-03

标准号
GB/T 25915.8-2010
别名
GBT25915.8-2010, GB25915.8-2010
发布
2011年
采用标准
ISO 14644-8:2006 IDT
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 25915.8-2021
当前最新
GB/T 25915.8-2021
 
 
引用标准
GB/T 25915.6
适用范围
GB/T 25915的本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组、类)的浓度,对空气分子污染(AMC)进行分级。同时,本部分在分级技术要求中,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数的规程。 本部分目前只考虑洁净室运行工况下100g/m3~10-12g/m3的AMC浓度。 本部分不涉及那些虽有空气分子物质存在、但不认为对产品或工艺有风险的行业、工艺和生产。 本部分无意探讨空气分子污染物的特性。 本部分不包含对表面分子污染的分级。

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GB/T 25915.8-2010系列标准


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