GB/T 26113-2010
微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
GBT26113-2010, GB26113-2010
- 标准号
- GB/T 26113-2010
- 别名
- GBT26113-2010, GB26113-2010
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 26113-2010
- 引用标准
- GB/T 18779.2 GB/T 26111 GB/T 3505
- 适用范围
- 本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
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