ASTM D5544-11
高纯度水蒸发后残留物在线测量的标准试验方法
Standard Test Method for On-Line Measurement of Residue After Evaporation of High-Purity Water
- 标准号
- ASTM D5544-11
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM D5544-16
- 当前最新
- ASTM D5544-16(2023)
- 引用标准
- ASTM D1129 ASTM D2777 ASTM D3370 ASTM D3864 ASTM D3919 ASTM D5127 ASTM E1184
- 适用范围
- 即使是所谓的高纯水也会含有污染物。虽然并不总是存在，但这些污染物可能会产生以下一种或多种：溶解的活性离子物质，例如钙、镁、钠、钾、锰、铵、碳酸氢盐、硫酸盐、硝酸盐、氯离子和氟离子、铁离子和亚铁离子，和硅酸盐；溶解有机物质，如杀虫剂、除草剂、增塑剂、苯乙烯单体、去离子树脂材料；以及胶体悬浮液，例如二氧化硅。虽然该测试方法有助于用一台仪器实时监测高纯水中的这些污染物，但该测试方法无法识别残留污染的各种来源或检测溶解的气体或悬浮颗粒。该测试方法使用称重的人工污染物（氯化钾）进行校准。氯化钾的密度是高纯水中发现的污染物的相当典型的密度；然而，该测试方法的响应显然是基于对氯化钾的响应。对高纯水中发现的实际污染物的响应可能与测试方法的校准不同。在这方面，该测试方法与许多其他分析测试方法没有什么不同。与其他监测方法一起，该测试方法可用于诊断超纯水系统中 RAE 的来源。特别是，该测试方法可用于检测泄漏，例如初级阴离子或混合床去离子器的流出物中胶态二氧化硅的渗漏。此外，该测试方法已用于测量新液体过滤器的冲洗时间，并适用于批量式采样（该测试方法中未描述这种调整）。立即获得高纯水污染情况对于那些使用高纯水制造零部件的行业具有重要意义；可以立即停止生产以纠正污染问题。新兴的纳米颗粒技术行业也将从这一信息中受益。
1.1 本测试方法涵盖半导体及相关行业使用的高纯水中溶解的有机物和无机物以及胶体物质的测定。这种材料称为蒸发残留物 (RAE)。测试方法的范围为0.001μg/L(ppb)至60μg/L(ppb)。
1.2 本测试方法采用连续、实时监测技术来测量RAE的浓度。高纯水的加压样品通过超净配件和管道连续供应至测试方法的设备。因此，可以防止大气污染物进入样品。有关测试方法的一般信息以及有关 RAE 连续测量的文献综述已发表。
1.3 以 SI 单位表示的数值应被视为标准。括号中给出的值仅供参考。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。有关具体危险说明，请参阅第 8 节。