执行器:MEMS 执行器也有部分较成熟的应用,如流量控制(喷墨头),射频器件里的 BAW(体 声波)滤波器、BAW 双工器等,但未来大量的应用场景不止于此,例如 MEMS 振荡器/谐振器、 MEMS 扬声器、MEMS 摄像头、MEMS 反射镜(用于微投领域)等。 ...
2005年,安捷伦科技推出基于MEMS体声波(BAW)谐振器的频率器件(滤波器),该技术能够节省四分之三的空间。BAW器件不同于其他MEMS的地方在于BAW没有运动部件,主要通过体积膨胀与收缩实现其功能。(另外一个非位移式MEMS典型例子是依靠材料属性变化的MEMS器件,例如基于相变材料的开关,加入不同电压可以使材料发生相变,分别为低阻和高阻状态,详见后续开关专题)。...
表面声波(SAW)滤波器曾是手机天线双工器的中流砥柱。2005年,安捷伦科技推出基于MEMS体声波(BAW)谐振器的频率器件(滤波器),该技术能够节省四分之三的空间。BAW器件不同于其他MEMS的地方在于BAW没有运动部件,主要通过体积膨胀与收缩实现其功能。...
例如,声学射频滤波器是无线设备的组成部分。SAW特别适用于生命科学和微流体技术,用于传感和混合微量液体。除了不断增加的应用数量之外,SAW还非常适合在单量子激发极限下探测和控制凝聚态物质中的基本激发。这种广泛,高度多样化,跨学科和不断扩展的频谱完全结合了先进的传感和操纵应用。值得注意的是,SAW技术本质上是多尺度的,并且从单个原子或纳米级单元甚至达到毫米级。...
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