GB/T 11164-2011
真空镀膜设备通用技术条件
Vacuum coating plant generic specification
GBT11164-2011, GB11164-2011
- 标准号
- GB/T 11164-2011
- 别名
- GBT11164-2011, GB11164-2011
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 11164-2011
- 引用标准
- GB 18209.1-2010 GB 5226.1-2008 GB/T 13306-2011 GB/T 13384-2008 GB/T 15945-2008 GB/T 191-2008 GB/T 3163-2007 GB/T 6070-2007 JB/T 7673
- 被代替标准
- GB/T 11164-1999
- 适用范围
- 本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。 本标准适用于螳力在10 …Pa ~10 3 Pa 范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备〔以下简称设备汕