NF C96-050-8-2011
半导体装置.微机电装置.第8部分:用钢带弯曲试验法测量薄膜的拉伸性能.

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8 : strip bending test method for tensile property measurement of thin films.

 

 

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标准号
NF C96-050-8-2011
发布日期
2011年10月01日
实施日期
2011年10月07日
废止日期
无
中国标准分类号
L40
国际标准分类号
31.080.01;31.220.01
发布单位
法国标准化协会

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