GB/T 28632-2012
表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.横向分辨率测定
Surface chemical analysis.Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy.Determination of lateral resolution
GBT28632-2012, GB28632-2012
- 标准号
- GB/T 28632-2012
- 别名
- GBT28632-2012, GB28632-2012
- 发布
- 2012年
- 采用标准
- ISO 18516:2006 IDT
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 28632-2012
- 引用标准
- GB/T 22461-2008
- 适用范围
- 本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适用于横向分辨率预期值大于20nm，小于1μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。 附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。
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